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Grojo, David

Overview
Works: 8 works in 10 publications in 2 languages and 13 library holdings
Roles: Other, Author, Thesis advisor, Opponent
Publication Timeline
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Most widely held works by David Grojo
Digital laser micro- and nanoprinting by Qingfeng Li( )

2 editions published in 2018 in English and held by 2 WorldCat member libraries worldwide

Mécanismes d'enlèvement de particules par laser impulsionnel : application au nettoyage pour la microélectronique by David Grojo( Book )

2 editions published in 2006 in French and held by 2 WorldCat member libraries worldwide

Le développement des nanotechnologies nécessite, entre autre, d'utiliser de nouvelles techniques de nettoyage permettant l'enlèvement sans contact de particules de tailles nanométriques. Le procédé laser consistant à irradier les matériaux avec des impulsions nanosecondes se révèle une approche prometteuse. Cette étude participe à l'amélioration des connaissances des processus d'interaction "laser-particule-surface". Les expériences démontrent que l'enlèvement résulte d'une compétition entre différents mécanismes. L'évaporation explosive de l'humidité résiduelle piégée au voisinage des polluants est identifiée comme le mécanisme non-destructif principal. Parmi les mécanismes d'endommagement observés, l'ablation locale du substrat résultant des phénomènes d'exaltation de champ proche optique limite la fenêtre de travail du procédé de nettoyage. Cependant, ce processus présente un intérêt pour d'autres applications telles que la nanostructuration de surfaces
Phenomenological modelling of non-volatile memory threshold voltage shift induced by nonlinear ionization with a femtosecond laser by Philippe Chiquet( )

1 edition published in 2019 in English and held by 2 WorldCat member libraries worldwide

Internal modification of intrinsic and doped silicon using infrared nanosecond laser by Xiaoming Yu( )

1 edition published in 2016 in English and held by 2 WorldCat member libraries worldwide

Laser-induced nano-jetting behaviors of liquid metals by Qingfeng Li( )

1 edition published in 2017 in English and held by 2 WorldCat member libraries worldwide

Ablation laser par double impulsion pico-femtosecondes, mono-bi-chromatique, et multi-perforation de la silice fondue by Kévin Gaudfrin( )

1 edition published in 2020 in French and held by 1 WorldCat member library worldwide

Ce travail de thèse s'inscrit dans le cadre d'un projet visant à percer du verre par impulsion laser brève. L'objectif consiste à multi-perforer du verre pour les interposers utilisés dans la fabrication des composants électroniques tels que les processeurs ou les unités mémoires, avec des trous de taille caractéristique d'une dizaine de microns. Ce perçage résulte deL'ablation du matériau induite par le dépôt d'énergie laser, lequel est principalement régi par la dynamique électronique. Cette dernière implique divers processus (l'ionisation, le chauffage des électrons libres et la recombinaison électronique), dont la contribution dépend des caractéristiques de l'impulsion en termes de longueur d'onde, forme temporelle, durée, polarisation et fluence. Ce travail de recherche a permis d'explorer différentes voies dans le but d'augmenter l'efficacité d'ablation et de réduire le temps de perçage, tout en conservant la qualité d'usinage propre aux impulsions laser femtosecondes. Il s'articule autour de deux axes de travail. Le premier axe vise à optimiser le dépôt d'énergie par une mise en forme temporelle des impulsions, consistant à diviser l'impulsion laser initiale en deux sous-impulsions. Les travaux expérimentaux ont dans un premier temps été menés avec deux sous-impulsions de même longueur d'onde, en faisant varier divers paramètres tels que le délai, la fluence totale et l'état de polarisation . L'efficacité d'ablation est maximale pour un délai nul. La polarisation a aussi une influence significative sur l'efficacité d'ablation. Dans un second temps, les travaux ont été conduits avec deux sous-impulsions de longueurs d'onde différentes, en faisant varier le délai, la fluence totale, la répartition de l'énergie entre les deux sous-impulsions et la durée de la seconde impulsion. Le délai optimum est alors de 1 ps. L'analyse de ces résultats expérimentaux a été soutenue par le développement d'un modèle de dynamique électronique. Le second axe consiste à réduire le temps de perçage par irradiation simultanée de plusieurs points. Cependant, le perçage laser induit dans le verre une charge thermique significative dont la relaxation peut conduire à l'apparition de contraintes mécaniques résiduelles, voire à la rupture du verre par fissuration. La parallélisation du procédé peut introduire des effets coopératifs entre les sous-faisceaux pouvant amplifier ces phénomènes indésirables. Pour étudier ces phénomènes et déterminer les limites du procédé, les résultats expérimentaux obtenus avec différentes géométries produites par un modulateur de phase ont été comparés à ceux prédits par un modèle thermo-élastique. La probabilité de fissuration augmente fortement à forte fluence (plusieurs dizaines de J/cm²) et pour une distance entre les trous de l'ordre du diamètre de ces trous. En dehors de cette configuration, la parallélisation du procédé n'introduit pas de risque de fissuration. Ces travaux ont permis, d'une part, de clarifier l'intérêt du procédé double impulsion mono et bi-chromatique pour le perçage laser, et d'autre part d'identifier les limites de la parallélisation du procédé de perçage laser
Periodic multi-scale structuring of surfaces by self-assembly of colloidal masks : shape-size coupling effects by Adrian-Ionut Bercea( )

1 edition published in 2021 in English and held by 1 WorldCat member library worldwide

Ultrafast laser writing in silicon : dependencies on the temporal characteristics of the applied pulses by Amlan Das( )

1 edition published in 2021 in English and held by 1 WorldCat member library worldwide

There is today a growing interest in the development of three-dimensional laser writing technologies applicable to silicon (Si) because of its potential to address important challenges of the future microelectronics. This work concentrates on investigations on control parameters in the time-domain, i.e. the temporal characteristics of irradiating pulses. The study reveals the achievability of stable laser micro-modification writing for pulse durations exceeding few picoseconds whereas writing in the femtosecond regime remains impossible with conventional focusing configurations. Looking for optimizations in the picosecond domain, accumulation strategies with trains of pulses at THz repetition rates (so-called bursts) are also implemented and investigated. In comparison to single-pulse irradiation, a systematic improvement is obtained on the delivered energy density. Complementing the analyses, a study of the dependence of the problem to the temporal contrast of femtosecond pulses is proposed. It is based on a double-pulse approach with the development of a setup for irradiation with femtosecond pulses synchronized with picosecond or nanosecond pulses. Under appropriate conditions, picosecond pre- and post-pulse contributions lead to modifications that cannot be obtained with perfectly contrasted pulses. This strong contrast dependence encourages the implementation of multi-time scale-controlled irradiation in future developments. Overall, the study gives a general benchmark on the most appropriate temporal characteristics of pulses for stable and reliable laser writing capability inside narrow gap semiconductors
 
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David Grojo onderzoeker

David Grojo researcher

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